일반기술
액상 수용액을 이용한 전지층의 제조방법 및 이를 이용한 적층형 실리콘 태양전지의 제조방법
본 기술은 실리콘 막을 기판에서 silane 증착의 코팅막 형성에 의해 산소가 없는 상태에서 열처리와 빛 처리를 해주어 기판 위에 형성한다. 액체 수용액의 코팅은 스핀 코팅이나 다른 코팅 방법에 의해 수행된다. 비정질 실리콘 막을 형성하기 위해, 350 oC 와 550 oC 사이의 온도에서 가열된다. 만일 형성된 비정질 막이 높은 온도에서나 고에너지 레이저 처리 될 경우 다결정질 실리콘 막을 얻을 수 있다. p형과 n형 실리콘 막을 얻기 위해서, cyclic silane 혼합물을 포함한 수용액에 붕소 또는 인을 첨가한다
기술정보
- 기술분류
- 에너지·자원 > 기타 에너지·자원
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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