일반기술
비접촉식 전자회로 전압측정장치 및 방법
비접촉식 전자회로 전압측정장치는 챔버, 전자빔을 발생시키는 전자총, 그 상면에 전자빔이 입사되는 회로패턴이 형성된 패드, 패드간을 전기적으로 연결하는 연결선이 형성된 시료, 전자빔의 입사경로의 소정위치에 설치되어 시료의 회로패턴으로부터 방출되는 이차전자 에너지의 분포를 분석하기 위한 전자 분광수단, 챔버내에 설치되며 시료의 회로패턴으로부터 전자분광수단을 통해 방출되는 이차전자를 수집하기 위한 이차전자 검출수단 및 이차전자 검출수단에 연결되어 그로부터 검출된 이차전자의 전압파형을 조사하여 시료의 회로패턴 전압을 측정하는 전압측정수단을 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 서강대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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