일반기술
대면적 기판의 박막 균일도 조절이 가능한 진공증발원
본 기술은 진공 증발원에 관한 것으로서, 진공 챔버 내에서 기판 지지대와 이격되어 위치하며, 상기 기판 지지대에 놓인 기판을 향해 소스 물질을 증발 및 방출시켜 증착하기 위한 진공증발원에 있어서, 소스 물질이 방출되는 출구부분이 내부로 돌출 형성된 외부도가니; 상기 외부 도가니 내에 위치하며 증발될 소스를 담는 내부 도가니; 상기 외부 도가니 바깥쪽에 위치하여 외부 도가니 및 내부 도가니를 통해 소스 물질을 가열하기 위한 발열체; 및 상기 내부 도가니 상부에 결합되며, 상기 발열체 및 내부 도가니에 의해 가열 및 증발되어 상기 외부 도가니의 내부로 돌출 형성된 부분에 의해 반사되는 소스 물질을 상기 기판으로 방출하는 균일도 조절체를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공증발원을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 포항기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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