일반기술
ＭＥＭＳ 가속도 센서
본 기술은 MEMS 가속도 센서에 관한 것으로서, 특히 유체의 열대류를 이용하여 가속도를 측정하기 위한 것으로서, 기판; 상기 기판상에 배치되며, 인가되는 전류에 의해 발열하는 발열체; 상기 기판상에 상기 발열체와 이웃하게 배치되며, 상기 유체의 온도를 측정하기 위한 열전쌍; 상기 기판에 마련되며, 상기 열전쌍 및 발열체의 하부로 유체를 통과시킬 수 있는 공동; 및 유체와 접촉하는 면적이 넓어지도록, 상면과, 상기 상면으로부터 함몰되게 형성되며 그 상면 전체에 걸쳐 배열되는 다수의 세공(pore)을 가지며, 상기 발열체의 상측에 형성되는 나노 구조체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 가속도 센서에 관한 것이다
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 포항기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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