일반기술

N 셔터리 부톡시말레이미드 공중합체 제조 방법

고감도 고해상성 내열성을 만족시키는 초미세가공용 레지스트 재료로서 t-부톡시 분호기 함유 말레이미드 고분자를 새로운 단량체인 t-BuDMI와 스티렌 및 스티렌 유도체 다른 단량체를 통상적이 라디칼 공중합 반응에 의하여 효율적으로 제조하는 것이다. <구성>N-셔터리-부톡시말레이미드 단량체를 디큐밀퍼옥사이드 존재하에 가열 라디카 중합시키는 N-t-부톡시말레이미드 단독 중합체 제조;N-셔터리-부톡시말레이미드 단량체와 스티레계 유도체를 벤조일 퍼옥사이드 아조비스(이소부티로니트릴)같은 라디칼 개시제 존재하에 라디칼 공중합시키는 N-t-부톡시말레이미드와 스티렌 유도체의 몰비가 1:1로 조성된다.1.N-셔터리-부톡시말레이미드 단량체를 디큐밀퍼옥사이드 존재하에 가열 라디칼 중합시키는 N-t-부톡시말레이미드 단독 중합체 제조방법.2. N-셔터리-부톡시말레이미드 단량체와 스티렌계 유도체(X-St)를 벤조일 퍼옥사이드, 아조비스(이소부티로니트릴) 같은 라디칼 개시제 존재하에 라디칼 공중합시키는 N-t-부톡시말레이미드와 스티렌 유도체의 몰비가 1:1로 조성된 공중합체 P(c-BuOMI/X St)제조방법.