일반기술
냉음극형 이온화 게이지
본 기술은 냉음극형 이온화 게이지에 관한 것이다. 본 기술에 따른 냉음극형 이온화 게이지에 포함되는 고전압 발생 및 출력 전류 감지기는 고전압을 출력하는 배전압부, 배전압부에 인입되는 출력 전압을 조절하는 출력 전압 조정부 및 배전압부에 연결되어, 출력 전류를 감지하는 출력 전류 감지부를 포함하되, 감지되는 출력 전류는 진공도를 측정하는 데 사용되는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 포항기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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