일반기술
가변속도형 인치웜 스테이지
본 발명은 고정 스테이지와 변위 스테이지와 상기 고정 스테이지에 지지되어 상기 변위 스테이지의 변위력을 발생시키는 피에죠 액츄에이터와 상기 피에죠 액추에이터와 상기 변위 스테이지를 연결시키는 연결부로서 상기 피에죠 액츄에이터의 변위력를 상기 변위 스테이지에 전달시키는 변위전달계로 구성되는 인치웜 스테이지에 있어서, 상기 변위전달계가 상기 피에죠 액츄에이터를 힘점으로 하고 상기 변위 스테이지를 작용점으로 하여 연결시키는 지레 아암과 상기 작용점 또는 힘점에 대한 위치가 가변되는 지레축(받침점)으로 구성되어 상기 지레축의 가변으로 인치웜 스테이지의 이동속도를 제어시키는 것을 특징으로 하는 가변 속도형 인치웜 스테이지에 관한 것이다
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 부산대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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