일반기술

전계방출표시소자 및 그 제조방법

본 발명은 전계방출표시소자(field emission display:FED) 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 반도체 기판 내에 오목한 홈을 형성하고, 상기 홈 밑면에 에미터를 형성한 뒤, 발광층이 형성 되어 있는 유리기판과 접합시켜 소자제조를 완료하므로써, 별도의 스페이서(spacer) 없이도 소자의 양극-음극간 거리 및 픽셀(pixel)의 면적이나 피치(pitch)등을 서브-마이크론(sub-micron) 수준의 정밀도를 가지도록 조절할 수 있고, 또한 픽셀이 물리적으로 격리되어서 전기-광학적인 크로스-토크(cross-talking) 현상을 방지할 수 있으며, 두 기판이 접합에 의해 연결되므로 실장이 간단할 뿐만 아니라 물리적인 내구성이 강한 장점을 가진다.임의의 깊이를 갖는 홈이 형성된 반도체기판과 상기 홈 밑면의 반도체기판에 형성된 n형 우물과 상기 n형 우물 상에 형성된 에미터와 홈이 형성되지 않은 상기 반도체기판 상에 형성된 절연막과 상기 절연막위에 접합된 투명전극과 상기 에미터 상측부에 배열되도록 투명전극 내측에 형성된 발광층 및 상기 투명전극 상에 형성된 유리기판으로 이루어짐을 특징으로 하는 전계방출표시소자.