일반기술
나노 입자 제조 시스템 및 이를 이용한 방법
나노 입자 제조 시스템이 제공된다. 이 제조 시스템은 벌크 타깃이 장착되는 어블레이션 챔버, 나노 입자를 발생시키기 위해 벌크 타깃에 에너지 빔을 조사하는 빔 발생부, 발생된 나노 입자를 이송하기 위해 어블레이션 챔버에 캐리어 가스를 제공하는 캐리어 가스 공급부, 및 캐리어 가스에 의해 이송된 나노 입자가 증착되는 증착 부재가 장착되는 증착 부재 장착부를 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 기타 물리화학
- 보유기관
- 이화여자대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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