일반기술
입자의 박막 코팅 방법 및 이에 적용되는 플라즈마 반응기
입자의 박막 코팅 방법 및 이에 적용되는 플라즈마 반응기가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입자의 박막 코팅 방법은, 코팅 대상 입자를 플라즈마 반응기 내에 주입시키는 단계, 코팅 대상 입자가 주입된 플라즈마 반응기를 회전시키는 단계, 플라즈마 발생을 위한 반응 가스와 박막 형성용 전구체를 플라즈마 반응기 내에 공급하고 플라즈마를 방전시켜 화학 기상 반응을 발생시키는 단계, 펌프의 동작에 의해 반응 가스와 박막 형성용 전구체의 공급이 완료된 플라즈마 반응기 내의 압력을 적정 공정 압력으로 형성, 유지시키는 단계 및 화학 기상 반응에 의해 생성된 전구체의 확산, 증착에 의해 코팅 대상 입자의 표면에 박막을 성장시키는 단계를 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 가공기계 (L54)
- 보유기관
- 강원대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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