일반기술
저온 가열탈기체 처리 가능한 소형, 경량 초고진공용스퍼터 이온펌프 및 그 제조방법
해당 기술은 NdFeB 네오디뮴 합금 영구자석을 적용하여 부피와 무게를 크게 줄인 소형, 경량의 스퍼터 이온펌프의 제작에 관한 것으로, ANSYS 시뮬레이션의 결과에 의하여 양극셀에 균일한 자기장을 형성시키는 다수의 네오디뮴 합금 자석의 조합에 관한 최적 배열을 도출하는 것과, 펌프 내부 벽면 및 부품에 대한 크롬산화막 표면처리를 통해 물 분자의 흡착량을 최소화 하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서 스퍼터 이온펌프 내부로의 물 분자의 흡착량은 최소화 하고 소형, 경량의 네오디뮴 합금 영구자석을 사용하여 배기 성능은 최적화하고 부피와 무게는 감소시킴으로써 100 ℃의 낮은 온도에서의 가열탈기체 처리만으로 초고진공에 도달할 수 있는 소형, 경량의 스퍼터 이온펌프를 제작할 수 있는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 포항기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-05
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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