일반기술
다중 모세관의 장착이 가능한 액체 타겟 공급 장치 및 이를 구비한 Ｘ선 및 극자외선 광원 발생 장치
해당 기술은 다중 모세관의 장착이 가능한 액체 타겟 공급 장치 및 이를 구비한 X선 및 극자외선 광원 발생 장치에 관한 것이다. 해당 기술은, 액체 타겟을 제트 형태로 분사하는 모세관; 가스라인을 통해 상기 모세관과 연결되고, 상기 모세관에 공급할 가스를 저장하는 가스저장탱크; 상기 모세관을 복수개 장착할 수 있도록 상기 모세관의 외주면에 위치하고 상기 가스라인을 통해 공급되는 가스를 액화시키는 금속재킷; 열전도 와이어를 통해 상기 금속재킷과 연결되고, 상기 금속재킷을 냉각시키는 극저온 냉동기(cryo-cooler); 및 상기 모세관의 초기위치를 설정하기 위해 상기 금속재킷을 이동시키는 이동수단;을 포함하는 다중 모세관의 장착이 가능한 액체 타겟 공급 장치를 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 포항기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-05
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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