일반기술
극고진공용 이온펌프 제작방법
해당 기술은 스테인리스 재질의 이온펌프 자체의 용기벽면에 크롬화산화막을 형성하여 단독으로 형성함에 따라 극고진공의 구현을 용이하게 실현할 수 있는 극고진공용 이온펌프 제작방법을 제공하고자 한다.해당 기술의 극고진공용 이온펌프 제작방법은 이온펌프용 산화처리 장치에 의해 크롬화산화막을 형성하되, 이온펌프용 산화처리 장치가, 스테인리스 스틸 재질의 펌프 용기 및 상기 펌프 용기에 설치된 양극을 온도 150℃ 내지 800℃에서 선택된 어느 하나의 온도에서 진공 중 고온 가열처리하여 상기 펌프 용기 및 양극의 표면에 흡착된 물분자를 제거하는 가열탈기체 처리단계를 수행한 다음 산소 분압 유지단계를 처리하는 산화 전 처리공정과; 상기 산화 전 처리공정 이후에 상기 펌프 용기의 온도를 450±5℃ 이내로 유지하는 산화처리 온도 유지단계를 수행한 다음 산화처리 시간 유지단계를 처리하는 산화 처리공정을 수행한다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 포항기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-05
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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