일반기술

은/염화은 전극구조를 갖는 MEMS pH센서 및 그 센서의 형성방법

□ 기술개요기존 수소이온농도를 측정하는 방법은 측정하고자 하는 용액에 유리전극을 담가서 용액의 산성·염기성 여부를 판단하여 얻어지는 전위차를 이용하여 결과를 확인하였다. 그러나 이때 사용되는 유리전극은 크기가 크며 깨지기 쉽고 특히 장시간 사용할 경우 용액과 전극의 소모로 인하여 검출특성이 변화하는 문제가 발생하였다. 대상기술은 MEMS 기술을 이용하여 이를 개선하고 환경오염의 자동측정망 및 측정항목을 선진국 수준으로 확충하기 위해서 개발하게 되었다. 해당 기술은 환경텔레매틱스 시스템에 적용이 가능하고 온도를 포함한 수소이온농도 측정이 가능한 MEMS방식의 pH센서이다. 또한 기존 유리전극의 특성을 이용하여 온도에 상관없이 일정한 전위를 유지하도록 고안된 pH센서 형성 방법이다.□ 기술특징pH센서 형성방법은 염화칼륨용액이 용출되는 문제점을 해결하였다. 또한 전극에 실크프린팅을 형성하여 센서의 사용수명을 연장시키고 측정의 안정도를 향상 시켰다. 해당 기술의 특징은 전극에 은막을 형성하고 은막위에 염화은막을 덮는 구조이다.- 센서의 사용 수명 연장- 측정의 안정도 향상- KCl 용액의 소모 억제- 사용기간, 보관상의 편의 제공- 제조공정의 간략화- 생산제품의 균일성 유지 기여