일반기술

이온 클러스터빔을 이용한 레이저 거울의 제조 방법

금속재료를 클러스터 형성부분과, 이온화부분과, 그리고 가속화부분으로 이루어진 금속이온원의 도가니에 넣고 도가니의 압력을조정하는 단계와, 레이저 저울의 제조를 위한 기판을 진공장치에장착하는 단계와, 금속이온원에 전원을 공급하는 단계와, 도가니필라멘트를 작동시켜 열전자를 방출시키고 도가니 필라멘트와 도가니 사이에 고전압을 인가하고 도가니에 온도를 가열하여 금속 증기입자, 또는 클러스터를 발생시키는 단계와, 금속 증기 입자, 또는 클러스터를 이온화 필라멘트와 이온화 전압을 이용하여 이온화시키는 단계와, 기판에 걸어준 가속 전압을 이용하여 금속 증기 입자, 또는 클러스터에 에너지를 부여하여 기판에 증착시키는 단계의 순으로 진행함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법.1.금속재료를 클러스터 형성부분과, 이온화부분과, 그리고 가속화부분으로 이루어진 금속이온원의 도가니에넣고 도가니의 압력을 조정하는 단계와, 레이저 거울의 제조를 위한 기판을 진공장치에 장착하는 단계와, 금속이온원에전원을 공급하는 단계와, 도가니 필라멘트를 작동시켜 열전자를 방출시키고 도가니 필라멘트와 도가니 사이에 고전압을인가하고 도가니에 온도를 가열하여 금속 증기입자, 또는 클러스터를 발생시키는 단계와, 금속 증기 입자, 또는 클러스터를 이온화 필라멘트와 이온화 전압을 이용하여 이온하시키는 단계와, 기판에 걸어준 가속 전압을 이용하여 금속 중기 입자, 또는 클러스터에 에너지를 부여하여 기판에 증착시키는 단계의 순으로 진행함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을이용한 레이저 거울 제조방법.2.제1항에 있어서, 도가니 압력 조정단계에서 도가니의 압력을 10-6 torr 이하로 유지함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법.3.제1항에 있어서, 금속 증기 입자, 또는 클러스터를 발생시키는 단계에서 도가니의 온도를 1500-1600oC 로유지함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법.4.제1항에 있어서, 가속 전압을 3kV로 유지함을 특징으로 하는 이온 클러스터 빔을 이용한 레이저 거울 제조방법