일반기술

복사열을 이용하는 진공 증발원

해당 기술은 복사열을 이용하는 진공 증발원에 관한 것으로서, 일측에 배출구를 가지며, 소정 온도 이상으로 가열되면 빛을 발하는 발광용 도가니; 상기 발광용 도가니의 외주부에 위치하는 가열 수단; 및 상기 발광용 도가니의 내벽면과 접하도록 삽입되며, 일측에 배출구를 가지고, 상기 발광용 도가니 보다 짧은 단열 소스 도가니;를 포함하며, 상기 단열 소스 도가니의 배출구는 상기 발광용 도가니의 내부에 위치하고, 상기 단열 소스 도가니는 발광용 도가니에서 조사된 빛을 투과시키는 것을 특징으로 하는 복사열을 이용하는 진공 증발원을 제공한다. 해당 기술에의하면, 발광용 도가니에서 발생된 열방사선에 의해 단열 소스 도가니 내부에 보관되는 증발 물질을 전도가 아닌 복사에 의해 가열하게 되므로 증발 물질의 표면 전체에 걸쳐서 고르게 열이 전달되게 할 수 있다. 이로 인해서, 증발 물질의 증발률을 일정하게 유지할 수 있어 생성되는 박막의 질을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 단열 소스 도가니의 배출구가 발광용 도가니의 배출구의 내부에 위치하므로 단열 소스 도가니 부근의 온도가 저하되어 증발된 증발 물질이 단열 소스 도가니 배출구의 주위에 고착되는 것을 방지할 수 있게 된다.