일반기술
실리콘 기판 상의 MCT - 박막(수은 - 카드뮴 텔루라이드) 에 대한 자동 검사 시스템
열 감지 선형 및 매트릭스 센서(thermo sensitive linear and matrix sensors)의 생산에 사용되는 실리콘 웨이퍼의 표면 결함 자동 감지 및 계측. □ 기술 사양 이미지 확대 2.5×, 10×, 20×, 40× 물체 이동 범위 0…50 mm 테이블 이동 속도 0.5 mm/s 감지한 결함의 최소 크기 2 μm 감지한 결함의 최대 크기 200 μm 결함 크기 평가 오차 ≤ 20% 프레임 처리율 1 s 해상도 756×581 그레이스케일 수준 256 □ 기술 평가 및 경제적 이익 자동 모드서로 다른 기판(substrate) 스캔 및 입력 결함 탐지 및 크기 평가 결함 강도 맵 구성 및 발견한 결함의 통계 분포 예측 수동 모드현미경 이미지 획득, 보관 및 가시화 이미지 인쇄; 작업자가 지시한 결함의 수치적 특성 계산
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 산업·일반기계
- 보유기관
- (재)경기대진테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-15
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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