일반기술

유리기판 사이의 접합을 이용한 전계방출표시소자 진공 실장 장치 및 방법

본 발명은 고진공 장치 내에서의 유리기판 사이의 접합을 이용한 전계방출표시소자의 진공 실장(Vacuum Packaging)에 관한 것으로, 종래의 배기용 관을 사용하는 경우에 발생하는 여러 가지 문제점, 즉, 봉입시 발생하는 미세한 가스에 의해서도 패널 내부의 진공도가 크게 영향을 받게 되며, 또한 배기용 관의 일부가 전계방출표시소자에 남아 패널의 두께가 두꺼워지게 되고, 관의 길이와 구멍 크기에 의해서 가스 배기가 방해를 받는 등의 문제점을 해결하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 의한 전계방출표시소자 진공실장(Vacuum Packaging) 장치 및 방법은 배기를 할 수 있는 구멍이 미리 형성되어 있는 전계방출표시소자를 고진공 장치 내부에 장착하고, 고온 배기를 통해 전계방출표시소자 패널 내부의 가스분자를 모두 배기한 후, 유리 기판 조각을 전계방출표시소자의 구멍에 맞닿게 하고 일정한 온도에서 직류 전압을 인가하여 유리-유리 접합을 수행하므로써, 전계방출표시소자의 진공 실장이 이루어진다.이로써, 전계방출표시소자의 진공실장이 용이하게 달성될 수 있고, 소자 패널 사이의 진공도가 향상되는 등 우수한 특성의 전계방출표시소자 제공할 수 있다.1. 챔버(1)와, 상기 챔버를 고진공 상태로 만드는 진공펌프(3), 상기 챔버내부의 일측에 배치되어 있는 전계방출표시소자 수용부로서, 상기 수용부는 양 패널중 하나에 배기용 구멍이 형성되어 있는 전계방출표시소자(14)를 가열하기 위한 소자 가열장치(6)와, 전계방출표시소자를 지지하기 위한 고정대(10)를 포함하는 전게방출표시소자 수용부와, 상기 전계방출표시소자 수용부에 대향하여 상기 챔버내에 배치되며, 전계방출표시소자의 상기 배기용 구멍에 접합될 유리기판 조각(17)를 지지하는 유리기판 조각 고정대(11)와, 상기 유리기판 조각 고정대를 상기 전계방출표시소자 수용부방향으로 구동하기 위한 고정대 구동 받침대(12)및 상기 유리기판 조각을 가열하기 위한 유리기판 조각 가열장치(7)를 포함하는 유리기판 조각 수용부와, 상기 소자 가열장치(6)와 전계방출표시소자 고정대(10)에 연결되어, 상기 소자의 온도를 측정하고 소자 가열장치를 통하여 소자를 소정온도로 조절하는 소자 온도 조절장치(5)와, 상기 유리기판 조각 가열장치(7)와 유리기판 조각 고정대(11)에 연결되어, 유리기판 조각의 온도를 측정하고 유리기판 조각 가열장치를 통하여 유리기판 조각을 소정온도로 조절하는 유리기판 조각온도 조절장치(4), 및 상기 전계방출표시소자에는 양극(+)이, 접합되어야 하는 유리기판 조각에는 음극(-)이 연결되어 소자 및 유리기판 조각에 직류전압을 공급하기 위한 전원공급장치(13)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자 진공 실장 장치.2. 제 1항에 있어서, 상기 장치가 상기 전계방출표시소자 고정대(10)에 부착되어 전게방출표시소자(14)의 온도를 측정하기 위한 센서(8)및 상기 유리기판 조각 고정대(11)에 부착되어 유리기판 ㅗㅈ각(17)의 온도를 측정하기 위한 센서(9)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자 진공 실장 장치.3. 상기 제 1항 또는 2항에 의한 장치를 사용하여 전게방출표시소자를 진공실장하는 방법으로서, 상기 전계방출표시소자의 양 패널 중 하나에 배기를 할 수 있는 배기용 구멍을 미리 형성하는 공정과, 상기 전계방출표시소자의 배기용 구멍이 형성된 캐소드 뒷면에 상기 배기용 구멍을 둘러싸는 전극용 금속 박막을 형성하는 공정과, 상기 금속 박막상에 접합에 관여하는 실리콘 박막을 형성하는 공정과, 상기 전계방출표시소자 및 구멍을 실장하기 위한 유리 기판 조각을 진공챔버 내부에 장착하는 공정과,상기 챔버내부가 10/(8)~3×10/(8)torr의 진공도를 가지도록 상기 챔버내부를 배기하고, 350℃~400℃의 온도에서 상기 전계방출표시소자 패널 내부의 가스분자 및 유리기판 조각 내부의 가스분자를 모두 고온 배기하는 공정과, 상기 전계방출표시소자와 유리기판 조각의 온도를 서서히 감소시켜 250~300℃정도의 유리-유리 접합온도를 유지하는 공정과, 상기 유리 기판 조각을 전계방출표시소자의 배기용 구멍에 맞닿게 하는 공정과, 상기 전계방출표시소자측과 접합될 유리기판 조각 사이에 200~400V의 직류 전압을 인가함으로써 유리-유리 접합을 수행하는 平ㅐ막이루어지는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자 진공 실장 방법.4. 제 3항에 있어서, 드릴을 이용한 방법 및 아크를 이용한 바업ㅂ중에서 선택되는 한 방법에 의하여 상기 배기용 구멍을 형성하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자 진공 실장 방법.5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 배기용 구멍을 1내지 4개 형성하는 것을 특징으로 하는 전게방출표시소자 진공 실장 방법.6. 제 3항에 있어서, 상기 전계방출표시소자 및 유리기판 조각을 상기 전계방출표시소자 고정대 및 유리기판 조각 고정대에 각각 고정시키므로써 챔버내에 장착하는 것을 특징으로 하는 전게방출표시소자 진공 실장 방법.7. 제 3항 또는 제 6항에 있어서, 상기 전계방출표시소자 고정대를 이용하여 상기 전게방출표시소자의 전극용 금속 박막에 양극(+)을 인가하고, 유리기판 조각 고정대를 이용하여 유리기판 조각에 음극(-)을 인가하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자 진공 실장 방법.8. 제 3항 또는 제 6항에 있어서, 상기 전계방출표시소자 고정대 및 유리기판 조각 고정대에 온도 센서를 장착하여 전계방출표시소자 캐소드 뒷면 및 유리기판 조각의 온도를 측정하고, 상기 온도조절장치 및 가열 장치를 이용하여 전계방출표시소자 및 유리기판 조각을 소정 온도로 조절하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자 진공 실장 방법.9. 제 3항에 있어서, 상기 유리-유리 접합시 전계방출표시소자와 유리 기판 조각의 온도를 같게 유지하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자 진공 실장 방법.10. 제 3항에 있어서, 상기 진공펌프로 로타리 펌프, 터보 펌프, 크라이오 펌프에서 선택되는 하나의 펌프를