일반기술

입체 차동 진공 시스템 및 그 방법

해당 기술은 진공용기의 길이를 늘이지 않고 이온의 전송률을 유지하면서 보다 높은 진공도를 유지하도록 두 개의 진공 펌프를 동일한 공간에 입체적으로 배치할 수 있도록 진공 용기를 만들고, 두 개의 진공 펌프가 연결된 공간 사이에 전도 차단막을 설치한 차동 진공 시스템에 관한 것이다.<응용분야>질량분석기(MS), 단백질칩, DNA칩

기술정보

기술분류
기계 > 기타 기계
보유기관
한국산업기술진흥원
기술유형
일반기술
등록일
2009-01-16
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

정보 없음

관련 특허

발명명칭 정보 없음

출원번호 1020060106609