일반기술
주사전자현미경을 이용한 투과전자현미경 홀더구동 측정장치 및 방법
해당 기술은 투과전자현미경에서 사용하고 있는 더블틸트, 로테이션, 트랜스레이션 홀더의 특성 측정 및 홀더의 구동원리와 시편의 이동 경로를 쉽게 파악할 수 있는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.<응용분야> 전자현미경, 반도체 재료 Tool, 바이오 분석 장비, 의학 분석 장비
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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