일반기술
반도체 나노구조 기술
해당 기술은 현재 거의 불가능한 최소 선폭이 10nm 이하 미세패턴 대량 생산을 가능하게 하는 기술로, 미세패턴 제조 공정에 해당 기술을 적용 시 적은 추가비용으로 선폭 10nm 이하인 미세 패턴 대량 생산을 지원한다. 10nm 이상의 패턴 제조 후 이온빔 등에 의한 물리적, 기계적 원리를 이용하여 미세 패턴을 제조하는 기술이며, 경제성과 소자성능 향상에 획기적인 기술이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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