일반기술
회전 실린더 음극의 선형 마그네트론
설명고 전류 전자공학 연구소에서 개발한 회전 실린더 음극의 선형 마그네트론 스퍼터링 시스템(LMSS)을 큰 영역 기질, 특히 건축 유리에 대해 금속과 그 혼합물 도포를 침전시킬 고 직접출력 진공 설치에 사용하고자 하였습니다.높은 음극 활용 범위(80%까지)는 회전 마그네트론의 주요 장점입니다. 설치 시공 및 요청 사항에 따라, 계속해서 목표물을 회전시키는 마그네트론이나 주기적으로 수동으로 목표물을 바꾼 마그네트론을 둘 다 제공해 드릴 수 있습니다. 반응적 스퍼터링 과정에서 안정성이 높게 나타나는 것이 계속해서 목표물을 회전시키는 마그네트론의 부가 이점입니다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- (재)경기대진테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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