일반기술
고출력 엑시머 레이저
이 장치는 고출력 자외선 단일파장 펄스 방사를 제공하기 위해 고안됨. □ 구성 - 레이저 셀, 캐패시터, 스위치로 구성된 레이저 블록 - 스위치들을 위한 펄스 발생기와 고전압 전원장치를 포함하는 전기제어 블록 - 진공펌프, 가스혼합 시스템의 구동, 그리고 가스실린더를 포함하는 가스제어 블록 □ 그림. 고출력 엑시머 레이저(HPEL-5-1) □ 개략적인 기술 특징 방사파장308 nm 레이저 펄스의 에너지1-5 J 펄스 유지시간(FWHM)100-300 ns 펄스 반복률1 Hz 입력 전력(220 V)1 kW
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- (재)경기대진테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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