일반기술

판상 세라믹 발열체

<목적>저항체로 질화티탄을 사용하고 질화규소 기판의 열 팽창 계수를 다양하게 변화시켜 저항체 주위의 기판과 저항체간의 열 팽창 계수는 서로 근접된 값을 나타내도록 하는 한편 기판의 외부 표면으로 갈수록 기판의 열 팽창 계수가 점진적으로 변화하도록 하여 저항체와 기판간의 열 팽창 계수 차이로 인한 피로 현상과 이에 따른 균열 발생 현상을 제거하여 고온 강도와 열 충격 저항성을 향상시킨 판상 세라믹 발열체를 제공한다. <구성>질화규소 1-30 wt%, 산화어비움 또는 산화이터비움 1-5wt%, 산화규소1-10wt%, 그리고 잔부가 질화티탄으로 이루어지는 질화티탄계 저항체와 소결조제 1-18wt%, 열 팽창 계수 조질제로서 규화몰리브데늄 또는 탄화텅스텐 1-20wt% 및 잔부가 질화규소로 구성되어 상기 저항체의 주위로부터 표면까지 열 팽창 계수가 점진적으로 변화되는 질화규소계 절연성 기판으로 이루진다. <효과>질화티탄 저항체에 질화규소와 산화이트륨 및 산화알루미늄을 5-20wt%첨가한 시편이 첨가하지 않은 시편보다 저항 변화가 적고 우수한 발열체가 되며, 본 발명에 의해 제조된 시편은 균열이 발생하지 않고, 평균 저항변화도 매우 적다.1. 질화규소 1~30중량, 산화어비움(Er2O3) 또는 산화이터비움(Yb2O3) 1~15중량%, 산화규소(SiO2) 1~10중량%, 그리고 잔부가 질화티탄으로 이루어지는 질화티탄계 저항체와, 소결조제 1~18중량%, 열팽창계수 조절제로서 규화몰리브데늄또는 탄화텅스텐 1~20중량% 및 잔부가 질화규소로 구성되어 상기 저항체의 주위로부터 표면까지 열팽창계수가 점진적으로변화되는 질화규소계 절연성 기판으로 이루어짐을 특징으로 하는 판상세라믹 발열체.2. 제1항에 있어서, 상기 소결조제는 산화이트륨(Y2O3) 1~15중량%와 산화알루미늄(Al2O3) 1~10중량%, 산화어비움 1~15중량%와 산화규소 1~10중량%, 또는 산화이터비움 1~15중량%와 산화규소 1~10중량% 중에서 선택되는 하나의 군인것을 특징으로 하는 판상세라믹 발열체.C