일반기술

혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법

해당 기술은 미세접촉인쇄 기술을 이용한 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 복수 개의 마스터 주형 상에 각각 음각 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스터 주형 상에 액상 고분자를 붓고 경화시켜서 상기 음각 패턴에 대응되는 양각 패턴을 구비한 복수 개의 고분자 도장을 제조하는 단계; 상기 복수 개의 고분자 도장의 표면에 서로 다른 기체 검출 물질을 묻힌 후 미세접촉인쇄 기술을 이용하여 순차적으로 기판 상에 기체 검출 물질 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 서로 다른 기체 검출 물질 패턴의 교차점에 접촉저항 감소물질 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법을 제공한다.해당 기술에따르면, 기존기술의 리쏘그라피 공정 등에 비해서 고가의 장비를 필요로 하지 않고도 용이하게 다양한 기체 검출 물질을 하나의 센서 내에 구현할 수 있고, 정확한 교차접합 센서의 메카니즘 분석을 가능하게 하며, 저전력으로도 높은 감도로 혼합기체의 정확한 정성 및 정량적 분석을 가능하게 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법을 제공할 수 있다.