일반기술

티타니아 나노와이어의 제조방법 및 이에 의해 제조된 티타니아 나노와이어

해당 기술은 티타니아 나노와이어의 제조방법 및 이에 의해 제조된 티타니아 나노와이어에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 기판 표면에 티타늄 완충층과 금속촉매층을 순차적으로 증착시키는 단계; 티타늄 분말을 알루미나 보트에 담고 상기 알루미나 보트의 상부에 상기 기판 표면을 대향 배치한 후, 상기 기판이 배치된 알루미나 보트를 튜브에 삽입하는 단계; 상기 튜브를 화학기상증착장치의 가열로 내부의 중앙까지 장입하는 단계; 상기 가열로 내부를 승온시키면서 불활성가스를 유입시키는 단계; 상기 가열로 내부의 승온을 중단하고, 상기 가열로 내부에 산소가스를 유입시키는 단계; 및 상기 산소가스의 유입을 중단하고, 상기 가열로 내부를 냉각시키는 단계를 포함하는 티타니아 나노와이어의 제조방법 및 이에 의해 제조된 티타니아 나노와이어에 관한 것이다.해당 기술에따르면 생산원가를 절감하면서도 티타니아 나노와이어의 수율 증대 및 신속한 성장 속도를 실현할 수 있고, 결정학적 구조 및 광학적 특성이 향상된 티타니아 나노와이어를 제공할 수 있다는 효과가 있다.