일반기술
마이크로-나노 금속 구조물의 제조 방법
해당 기술은, 표면에 나노미터 또는 마이크로미터 크기의 미세 패턴 구조가 형성된 마스터와, 상기 마스터의 패턴이 전사될 PVC 막을 준비하는 단계; -상기 PVC 막의 유리 전이온도 이상의 공정 온도에서 상기 마스터로 PVC 막을 가압하여, 상기 마스터의 패턴을 상기 PVC 막에 전사하는 단계; 상기 PVC 막의 유리 전이 온도 미만에서 상기 마스터를 상기 PVC 막으로부터 분리 또는 제거하는 단계; -상기 패턴이 전사된 상기 PVC 막의 표면 상에 상기 패턴을 따라 박막의 도금용 금속 시드층을 형성하는 단계; 상기 금속 시드층 상에 전기도금을 실시하여 상기 PVC 막의 패턴을 충진하도록 도금물질층을 형성하는 단계; 및 상기 PVC막을 상기 도금물질층으로부터 분리 또는 제거하는 단계를 포함하는, 마이크로-나노 금속 구조물의 제조 방법을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 고려대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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