일반기술
하이브리드 나노임프린트 마스크의 제조방법 및 이를 이용한 전자소자의 제조방법
하이브리드 나노임프린트 마스크의 제조방법 및 이를 이용한 전자소자의 제조방법이 제공된다.해당 기술에따르면 전자빔 리소그래피를 사용하지 않고서도 정밀한 나노패턴을 형성할 수 있으며, 한번의 공정을 통해 나노패턴과 마이크로 패턴을 동시에 형성할 수 있어 공정효율이 우수하고, 소프트 리소그래피를 결함함으로써 나노재료로 이루어진 패턴이 통합되어 있는 전자소자를 우수한 공정효율로 제작할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 고려대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020080056580