일반기술

TB-FE계거대자기변형박막및그의제조방법

조성식 TbxFeyBz (식중, x, y 및 z는 원자 %로서, 43.5 ≤ x ≤ 62.4, 37.3 ≤ y ≤ 56.5, 0 ≤ z ≤ 0.4 및 x + y + z = 100이다)로 표시되는 거대 자기변형 합금 박막 및 그의 제조 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 자기변형 합금 박막은 낮은 자기장이 인가되는 경우에도 높은 자기변형치를 나타낸다.1. 하기 조성식으로 표시되는 거대 자기변형 합금의 박막.TbxFeyBz상기 식에서, x, y 및 z는 원자 %로서, 43.5 ≤ x ≤ 62.4, 37.3 ≤ y ≤ 56.5 및 0 ≤ z ≤ 0.4 (단, x + y + z = 100임)이다.2. 순철 또는 Fe-B 합금 타겟 위에 Tb 소편을 배치하거나 Tb-Fe 또는 Tb-Fe-B 합금 타겟을 사용하여 불활성분위기 하에서 스퍼터링하는 것을 이루어진, 제1항 기재의 Tb-Fe 또는 Tb-Fe-B 거대 자기변형 합금 박막의 제조 방법