일반기술
흡습성 고체 전구체 기화장치
해당 기술은 수분에 민감하게 반응하는 금속염화물, 금속불화물 등 흡습성 고체 전구체를 공기와 차단된 상태에서 기화시켜 금속, 세라믹 나노분말을 제조하는 기상반응기에 공급을 목적으로 하고 있다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 물리학
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.
일반기술
해당 기술은 수분에 민감하게 반응하는 금속염화물, 금속불화물 등 흡습성 고체 전구체를 공기와 차단된 상태에서 기화시켜 금속, 세라믹 나노분말을 제조하는 기상반응기에 공급을 목적으로 하고 있다.
정보 없음
등록된 관련 특허가 없습니다.