일반기술

스핀트형 3극관 전계방출소자 제조방법

스핀트형 3그관 전계방출소자 제조방법에 관한 것으로 알루미나 구조체 및 미세공의 높이와 크기를 조절하여 미세공 내부에 금속 팁을 스퍼터링으로 형성시킬 수 있는 3극관 제조 방법에 관한 것이다. 하판에 캐소드 전극과 알루미늄을 증착하고 양극산화 공정을 수행하여 상기 알루미늄을 소정크기의 미세공과 알루미나 구조체로 형성시킴으로써 전해도금 공정에 비해 공정 단계를 현저히 줄일 수 있고, 한 개의 전자방출원의 크기를 수십 나노미터부터 수백나노미터까지 자유로이 조절할 수 있다. 미세공마다 게이트 전극을 구비시켜 낮은 동작전압과 높은 전계방출특성을 얻을 수 있으며 항상 일정한 크기의 전계방출소자의 제조가 가능하다. 스핀트형 3극관 전계방출소자 제조방법에 따르면 하판에 캐소드 전극과 알루미늄을 증착하고 양극산화 공정과 인산처리공정을 수행하여 상기 알루미늄을 소정크기의 미세공과 알루미나 구조체로 형성시킴으로써 전금도금 공정을 이용하여 형성시키는 방법에 비해 공정 단계를 현저히 줄일 수 있고, 한 개의 전자 방출원의 크기를 수십 나노미터부터 수백 나노미터까지 자유로이 조절할 수 있으며 비교적 간단히 원하는 크기의 전계방출소자를 제조할 수 있다. 또한 미세공마다 게이트 전극을 구비시켜 낮은 동작전압과 높은 전계방출 특성을 얻을 수 있으며 항상 일정한 크기의 전계방출소자의 제조가 가능하다.