일반기술

유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치 및 방법

해당 기술은 유기 EL 소자의 진공 증착공정 진행시 유리기판의 편평도를 지속적으로 측정하여 유리기판의 처짐, 휨 현상을 실시간으로 파악할 수 있는 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 해당 기술에 따른 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치는 고정판에 의해 일면이 고정, 지지되는 유리기판과, 상기 유리기판의 양 측면의 대향되는 위치에 각각 구비되는 레이저 발광부 및 레이저 수광부와, 상기 레이저 발광부 및 레이저 수광부와 통신연결관계를 맺으며, 상기 레이저 발광부로부터 조사된 레이저가 유리기판을 거쳐 상기 레이저 수광부에 수광되는 시간을 측정하는 측정 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.- 유리기판의 측면에 레이저 발광부 및 레이저 수광부를 구비시키고 레이저의 유리기판 투과시간을 측정하여 해당 유리기판의 불량 여부를 판단함으로써, 공정 진행 중인 유리기판의 불량 여부를 실시간으로 파악할 수 있음.- 빛이 도파로를 투과할 때 도파 경로에 따라 투과시간이 서로 다르게 되는 기술적 원리를 이용함. 즉, 레이저가 유리기판을 투과하는 시간을 측정하여 해당 유리기판의 처짐, 휨 현상을 체크함.