일반기술
대면적 기판에 박막을 적층하기 위한 장치
해당 기술은 진공 열 증착(Vacuum Thermal Evaporation) 방법으로 OLED(Organic Electroluminescence Display) 등의 박막(Thin Film)을 제작하기 위하여 증착물질을 가열하기 위한 가열장치에 관한 것으로서, 특히 대면적 OLED의 박막을 제작하는 경우에 대면적 전체 박막의 균일성을 향상시킬수 있는, 원형 또는 사각형 모양의 면적형 증착물질 가열장치에 관한 것이다. 해당 기술은 진공 열 증착에 의한 대면적 유기박막 제작에 있어서, 기존 선형 증발원의 결점이었던 이송장치 사용을 해소한 것으로, 기판 또는 증발원의 이송 없이 대면적의 기판에 균일한 두께의 박막을 제작할 수 있어, 증착 장치의 효율성을 높일 수 있고, 기판 또는 증발원의 이동 시 발생할 수 있는 입자의 발생이나 불량률을 최소화할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020070022924