일반기술

가스센서용 마이크로 히터 제조방법 및 그에 의해 제조된 마이크로히터

해당 기술은 가스센서용 마이크로히터 제조방법 및 그에 의해 제조된 마이크로히터에 관한 것으로서, 특히 상부면에 폴리실리콘(Poly si) 재질의 희생층을 평평하게 형성하고, 상기 희생층 상부로 복수의 절연층을 형성한 후 그 절연층의 상부에 폴리실리콘 재질의 히터와 절연층, 알루미늄(Al) 재질의 온도센서와 절연층 및 산화아연(ZnO) 재질의 가스감지막을 순차적으로 적층하며, 상기 가스감지막의 상부에 절연막을 피복한 후 포토마스크를 이용하여 절연막에 에칭홀을 형성하고, 상기 에칭홀을 통해 건식에칭을 위한 플라즈마가스를 불어넣어 등방성 식각작용에 의해 히터와 웨이퍼 사이에 'U' 모양의 단열공간이 형성되도록 하므로서, 마이크로 히터 제조시 웨이퍼 상부에 희생층을 평평하게 형성할 수 있게되어 최종 생산제품에 단차가 크게 발생하지 않게되고, 건식에칭법을 이용하여 단열공간을 형성함에 따라 에칭공정이 끝난 후 단열공간 내부에 이물질이 남지않게되어 단열성능이 향상되는 효과를 기대할 수 있도록 한 가스센서용 마이크로히터 제조방법 및 그에 의해 제조된 마이크로히터에 관한 것이다. 상부면의 절연막이 형성된 웨이퍼의 상부에 폴리실리콘(POLY SI) 재질의 희생층을 평평하게 형성하고, 상기 희생층 상부로 복수의 절연층을 형성한 후 그 절연층의 상부에 폴리실리콘 재질의 히터와 절연층, 알루미늄(AL) 재질의 온도센서와 절연층 및 산화아연(ZNO) 재질의 가스감지막을 순차적으로 적층하며, 상기 가스감지막의 상부에 절연막을 피복한 후 포토마스크를 이용하여 절연막에 에칭홀을 형성하고, 상기 에칭홀을 통해 건식에칭을 위한 플라즈마가스를 불어넣어 등방성 식각작용에 의해 히터와 웨이퍼 사이에 'U' 모양의 단열공간이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 가스센서용 마이크로 히터 제조방법이다.