일반기술

백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법

본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 완충층 상에 열증착법으로 알루미늄 전극을 증착하는 공정을 통하여 희토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적, 청, 녹색파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색 형광박막이 적층되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 한 것이다.1.유리기판과, 상기 유리기판 상에 형성된 투명전극과, 상기 투명전극 상에 형성된 하부절여능과, 상기 하부절연층 상에 형성되어 발광되는 발광층과, 상기 발광층상에 형성된 상부절연층과, 상기 상부절연층 상에 형성되어 발광소자 동작특성의 연화현상을 방지하는 완충층과 상기 완충층 상에 형성된 알루미늄 전극으로 구성함을 특징으로 하는 백색 발광용 전계 발과 소자.2.제2항에 있어서, 상기 상,하부절연층은 BaTa2O2로 이루어진 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광소자.3.제1항에 있어서, 상기 발광층은 Pr이 발광중심으로 형성된 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광소자.4.제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 발광층은 SrS:Pr,F로 이루어진 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자.5.제1항에 있어서,상기 완충층은 SixNr로 이루어진 것을 특징으로 하는 백색발광용 전졔발광소자.6.유리기판 사에 1TO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과 상기 상부절연층상에 발광 소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 상부 절연층 상에 발과소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과 상기 완충층 상에 열중착법으로 알루미늄전극을 중착하는 공정으로 이루어짐을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광 소자의 제조방법.7.제6항에 있어서, 상기 상, 하부절연층은 BaTa2O6로 형성된 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자.8.제6항에 있어서, 상기 발광층은 Pr이 발강중심으로 형성된 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.9.제6항 또는 제8항에 있어서, 상기 발광층은 SrS:Pr,F로 형성된 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광 소자의 제조방법.10.제6항에 있어서, 상기 완충층은 SixNr로 형성됨을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자으 제조방법.11.제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 상,하부절연층의 박막형성시 Ar:O2에 대한 산소의 비는 10~30%범위에서 가변되며, 기판온도는 50~120℃로 유지되고, 약 200~300nm두께로 박막이 형성됨을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광소자의 제조방법.12.제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 발광층은 Pr을 약 0.4~1.6mol%정도로 첨가한 SrS:Pr,F 분말을 합성하여 두께 4mm인 페릿을 만들고 이 펠릿을 이용하여 전자빔증착법으로 발광층을 약 500~1000nm 두께로 증착시키며, 기관의 온도는 약 300~400℃로 유지하고, 완성된 박막은 400℃에서 진공열처리 함을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.13.제12항에있어서, 상기 펠릿은 SrS:Pr,F에 대한 무게비가 약9:1이 되도록 유황을 섞은 다음, 상용콜드 프레스법으로 성형시킴을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.14.제6항또는 제10항에 있어서, 상기 완충층의 기판온도는 약 100~120℃로 유지하고,Ar:N2의 비는 약 15~35%정도로 유지하여 50~100nm의 두께로 형성됨을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.