일반기술
마이크로전자공학 및 광학 적용 가능한 기능성 및 미려 졸-겔 막
유리염료 및 Mn, Co, Fe, Ag 등의 산화물로 도핑된 미려박막과 보호용 실리카 박막이 생성가능하며 200~5000도의 열처리 후 기판에 동질 투과막이 생성된다.(보호/미려 코팅막)박막두께는 0.2~2mm이며 실리콘, 알루미늄, 실리콘 와퍼, 유리, 플라스틱 등 다양한 소재에 점팍성이 뛰어나다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 부방식·표면처리 기술
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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