일반기술

X-선 복합굴절렌즈의 정렬 시스템 및 이를 이용한 X-선 복합굴절렌즈의 정렬 방법

X-선 피폭의 위험 없이 X-선 복합굴절렌즈를 안정적으로 정확히 정렬시킬 수 있는 X-선 복합굴절렌즈의 정렬 시스템 및 이를 이용한 X-선 복합굴절렌즈의 정렬 방법에 관한 것으로서, 해당 기술에 따른 X-선 복합굴절렌즈 시스템의 정렬 방법은 n 개의 단일 굴절렌즈로 구성되는 X-선 복합굴절렌즈 시스템을 정렬함에 있어서 제 1 단일 굴절렌즈로부터 제 n 단일 굴절렌즈까지 순차적으로 정렬하며, 세부적으로 제 1 단일 굴절렌즈로 구성되는 X-선 복합굴절렌즈 시스템의 정렬 후 1개씩 단일 굴절렌즈가 부가된 X-선 복합굴절렌즈 시스템에 대해 정렬하는 방식으로 진행하며, 각각의 X-선 복합굴절렌즈 시스템에 대한 정렬 방법은, 상기 레이저 발생기로부터 발생된 레이저 빔이 상기 빔 분리기를 통해 제 1 빔과 제 2 빔으로 분리되어 제 1 빔은 상기 반사경으로 입사되고, 상기 제 2 빔은 특정 X-선 복합굴절렌즈 시스템에 입사되는 단계와, 상기 제 1 빔과 제 2 빔을 상기 반사경 및 특정 X-선 복합굴절렌즈 시스템에 의해 재차 반사되어 상기 빔 분리기를 거쳐 상기 상 검출기에 입사되는 단계와, 상기 상 검출기가 상기 제 1 빔과 제 2 빔에 의해 발생되는 신규 간섭 무늬를 검출하는 단계와, 상기 신규 간섭 무늬와 이전의 X-선 복합굴절렌즈 시스템에 대한 기준 간섭 무늬를 비교하여 상기 특정 X-선 복합굴절렌즈 시스템의 오정렬 여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.