일반기술
ZnO 박막의 후열처리 단계에서의 분위기 제어방법
원자층 증착법을 이용하여 증착된 ZnO 박막의 후열처리 단계에서의 분위기를 제어하는 방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 원자층 증착법에 의해 증착된 ZnO 박막을 후열처리하는 단계에 있어서, 열처리 분위기 기체 및 열처리 온도를 조절함으로써 ZnO 박막의 결정성, 광학적 특성, 전기적 특성 등이 향상된 ZnO 박막의 제조방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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