일반기술
입체차동진공시스템 및 그 방법
진공용기의 길이를 늘이지 않고 이온의 전송률을 유지하면서 보다 높은 진공도를 유지하도록 두 개의 진공 펌프를 동일한 공간에 입체적으로 배치할 수 있도록 진공 용기를 만들고, 두 개의 진공 펌프가 연결된 공간 사이에 전도 차단막을 설치한 차동 진공 시스템
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 표준·측정·시험평가 기술
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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