일반기술
반도체 나노구조 기술
현재 거의 불가능한 최소 선폭이 10nm이하 미세패턴 대량 생산을 가능하게 하는 기술로, 미세패턴 제조공정에 해당 기술을 적용시 적은 추가비용으로 선폭 10nm이하인 미세패턴 대량생산을 지원함. 10nm이상의 패턴 제조후 이온빔 등에 의한 물리적, 기계적 원리를 이용하여 미세패턴을 제조하는 기술임. 경제성과 소자성능 향상에 획기적인 기술
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 소자 (B63)
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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