일반기술
롤스템프를 이용한 나노임프린트 장치
롤형태의 스템프를 사용함으로써 연속적인 패터닝이 가능하며, 디몰딩이 용이하고, 서브스트레이트의 표면이 굴곡을 가지더라도 패터닝이 가능하여 6인치 이상의 대면적 서브스트레이트에 100nm~50um까지의 극초미세 패턴을 연속적으로 패터닝할 수 있는 기술
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 정밀기계
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.