일반기술
압전소자 구동형 초정밀 나노급 XY스테이지
초정밀 구동을 위한 압전소자, 압전소자의 운동을 각 축 방향으로 안내하기 위한 안내기구, 초정밀 위치센서 및 제어회로로 구성되어 수십~수백 마이크로의 미소영역에서 나노 단위의 분해능으로 위치결정을 하며, 고속 스캔이 가능한 스테이지 설계기술
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 설계방법 관련기술
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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