일반기술
저전압 구동형 압전 마이크로스피커 및 그 제조 방법
해당 기술은 압전형 마이크로스피커에 관한 것으로서, 특히 미세가공기술과 반도체 박막 기술을 이용하여 형성된 저전압 구동형 압전 마이크로스피커 및 그 제조 방법에 관한 것이다.해당 기술의 저전압 구동형 압전 마이크로스피커는, 중앙부가 제거된 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상면에 형성된 다이어프램; 상기 다이어프램의 상면 중앙부에 형성된 1차 전극; 상기 1차 전극의 상면과 상기 다이어프램의 노출된 상면 상에 형성된 압전 박막; 상기 1차 전극과 대응되는 상기 압전 박막의 중앙부의 상면 영역에 2 이상으로 전기적으로 분리된 형태로 형성된 2차 전극; 및 상기 2차 전극의
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 농업기술실용화재단
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020070010914