일반기술
공극 변위 측정을 이용한 평면 스테이지 면내 위치 검출방법 및 장치
해당 기술은 평면 스테이지의 면내 위치 검출 방법 및 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 2축 운동 및 가동부의 회전 운동(YAW MOTION)까지 구현 가능한 평면 스테이지의 3축 이동량을 측정하는 방법 및 장치에 관한 것이다.해당 기술에 따르면, 고정단 위에서 격자형태로 배치되어 있는 리니어 모터 등에 의해 2차원 운동을 하는 평면 스테이지의 면내 위치(IN-PLANE POSITION; X, Y, Θ), 즉 평면 운동량을 검출하기 위해, 가동부와 연동하는, 서로 다른 기울기로 사면(DECLINED) 가공된 평판의 공극량을 측정하고 이를 변환관계를 통해 연산하여 간접적으로 평면 위치를 검출함으로써, 두 축으로의 평면 운동 및 가동부의 수십도에 달하는 회전 운동을 측정할 수 있다
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 농업기술실용화재단
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020060042797