일반기술

수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서

해당 기술은 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서에 관한 것으로, 맥파감지센서부의 자성박막층이 얇은 Pd층을 형성하고 이의 면상에 수직하게 자화된 강자성층을 반복 형성한 2개 이상의 "Pd층/강자성층" 또는 "강자성층/Pd층"으로 자유층 및 고정층을 형성함으로써, 전체 두께가 얇아짐은 물론 높은 자기저항비를 가짐과 동시에 자유층에 낮은 보자력을 갖게 되어, 종래보다 미세한 외부 자기장의 변화도 감지할 수 있는 효과가 있다. □ 기술내용맥파를 측정하고자 하는 위치의 피부에 접촉되는 자성체로 형성된 피부접촉부와, 상기 피부접촉부 상부에 일정거리 이격하여 2 이상의 자성 박막층을 단위 셀로 형성된 어레이 형태의 맥파감지센서부와, 상기 피부접촉부와 상기 맥파감지센서부 사이에 소정의 공간을 이루는 이격공간부를 포함하여 구성된 맥진센서에 있어서,상기 맥파감지센서부의 상기 자성 박막층은, 자유층/비자성층/고정층/반강자성층을 포함하여 구성되되,상기 자유층 및 상기 고정층은 각각 "Pd층/제1강자성층" 또는 "제1강자성층/Pd층"이 2번 이상 N번 반복하여 증착되고, 상기 제1강자성층은 상기 Pd층 면상에 수직으로 자화된 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서.