일반기술

표면결함 정보 추출을 위한 레이저 초음파 검사장치 및 방법

해당 기술은 비접촉 방식으로 표면결함의 유무와 결함 깊이 및 표면결함의 형상 정보를 추출하기 위한 레이저-초음파 검사 장치에 관한 것으로, 그 목적을 달성하기 위하여 SLS(scanning laser source)기법의 선형 펄스레이저 빔으로 초음파를 유도하고 일정간격에 위치한 이중파동혼합 간섭계(two-wave mixing interferometer)를 이용하여 초음파 신호를 획득한 다음 그 신호를 분석함으로써 미소 결함의 위치와 깊이를 측정하고 동시에 선형 펄스레이저 빔의 영상을 획득한 다음 선형레이저 빔의 중심선을 추출하여 표면 결함의 외부형상과 바닥부의 형상 정보를 추출하는 결함정보 추출 방법과 장치에 관한 것이다. 해당 기술의 구성은 크게 초음파를 발생시키기 위하여 하나 이상의 선형 펄스 레이저 빔을 발생시키는 펄스레이저 장치와 선형 펄스레이저 빔과는 일정 거리 위치에서 초음파 신호를 검출하기 위하여 광굴절 물질을 사용하는 레이저 간섭계와 조사된 선형 펄스레이저 빔의 영상을 획득하여 결함 형상 정보를 추출하는 결함 형상 정보 추출 장치와 주변 장치 제어와 신호처리를 담당하는 제어 및 신호처리 컴퓨터로 구성된다. 본 고안에서는 결함 정보 추출을 위하여 스캔이 가능한 하나 이상의 선형 펄스레이저 빔이 측정 시편의 표면에 조사되고 선형 펄스레이저 빔의 조사 위치를 기준으로 일정 거리에 위치한 측정용 레이저 빔이 측정 시편의 표면 이동을 측정한 후, 이들 신호로부터 결함의 위치와 깊이 정보를 추출하며, 선형 펄스레이저 빔의 영상 정보로 부터 표면결함의 형상 정보를 추출함으로써 측정 시편의 표면 결함 위치와 깊이 및 형상을 측정하는 것을 특징으로 한다.