일반기술

표면 결함의 깊이를 측정하기 위한 레이저-초음파 검사장치 및 방법

기술은 레이저 초음파 신호의 주파수 감쇠 성분을 이용하여 표면 결함의 깊이 정보를 추출하기 위한 레이저-초음파 검사 장치에 관한 것으로, 그 목적을 달성하기 위하여 펄스레이저 빔으로 초음파를 발생시키고 일정 간격에 위치한 두 개 이상의 위치에서 측정용 레이저 빔을 사용하여 이중파동혼합 간섭계(two-wave mixing interferometer)는 초음파 신호를 획득하고 그 신호를 정규화 시킨 다음 정규화된 신호를 정밀 분석함으로써 미소 결함의 깊이를 측정하는 장치에 관한 것이다. 해당 기술의 구성은 크게 초음파를 발생시키기 위하여 펄스 레이저 빔을 발생시키는 펄스레이저 장치와 펄스레이저 빔과는 일정 거리 위치에서 서로 떨어진 두 개 이상의 위치에서 측정용 레이저 빔을 사용하여 초음파 신호를 검출하는 광굴절 물질을 사용하는 레이저 간섭계와ㅡ 주변 장치 제어 및 신호처리를 담당하는 제어 및 신호처리 컴퓨터로 구성된다. 본 고안에서는 결함 깊이 정보 추출을 위하여 펄스레이저 빔이 측정 시편의 표면에 조사되고 펄스레이저 빔의 조사 위치를 기준으로 일정 거리에 위치에서 서로 일정간격 떨어진 두 개 이상의 측정용 레이저 빔을 이용하여 초음파 신호를 측정하고, 이들 신호로부터 결함의 깊이를 측정하는 것을 특징으로 한다.