일반기술

선대칭 3D 표면 회절 광학 엘리먼트의 합성을 위한 LASER GENERATOR OF IMAGES

□ 기술개요이미지(LGI) 레이저 제너레이터는 평면광학의 엘리먼트를 위한 정밀도 크롬 마스크나 마스터 디스크의 합성을 위해 설계 되어진다. LGI의 가동 원리는 크롬 필름에 있는 미래 광학적인 엘리먼트의 포토마스크의 숨겨진 이미지의 형성에 근거를 둔다. Workpiece diameter 제품 직경 20…300 mm Spatial resolution 공간 해상도 Up to 1000 lines/mm Linear resolution 선 해상도 Better than 10 nm Angular resolution 각 해상도 Better than 0.25" Range of Z displacement Z 변위 범위 Up to 25 mm Autofocusing error 오토포커싱 에러 ± 0.05 μm Light-sensitive layer 빛 민감 레이어 Chromium film, photoresist Material 원료 Glass, quartz □ 기술적 세부설명 □ 기술적 평가 및 경제적 이점 LGI에는 큰 작동 필드, 고해상 및 효율성이 있다; 그것은 간단함과 저렴한 기술등이 두드러지며 정밀원형스케일과 1""보다 적은 에러의 림스, 360,000까지의 소수, 18까지 2진 숫자의 수를 가진 멀티비트 변환기 ""앵글코드"", 회절 광학적인 성분 (선형 구조를 가진 임의 기하학의 선대칭, off-axis), 마이크로 공학의 단위 및 엘리먼트를 허용한다. □ 응용분야● 물리광학 ● 계기공학 ● 컴퓨터공학 ● 마이크로공학