일반기술
박막필름의 레이저 플라즈마 증착법
박막의 레이저 석출 기술이 개발되었다. 박막의 소재는 다음과 같다.: HTSC필름, GaAs,InGaAs, PbTe, Bi, ZrO2, SrTiO3, ZnO, 다이아몬드와 같은 필름. 컴퓨터 제어와 펄스레이저-플라스마 석출 공정을 모니터할 시스템에 적합한 레이저 석출 플랜트가 제작되었다. 금속, 반도체, 유전체로부터 제작된 HTSC 필름, 예를 들어 광전자공학과 마이크로전자공학에서 쓰이는 요소의 기본구조 소재의 석출 기술이 개발되었다. 다음과 같은 레이저-플라스마 석출을 위한 기술이 개발되었다. : 양자-차원 구조; 광전자공학용 복합 물질로 제작된 필름; 마이크로 전자공학의 확산장벽용 초박막금속.
기술정보
- 기술분류
- 생명과학 > 기타 생명과학
- 보유기관
- (재)송도테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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