일반기술

미세 탄화 규소

탄화규소 기반의 나노소재는 마이크로전자공학에서 뿐만 아니라 고온 화합물의 합성을 위해서도 광범위하게 사용된다. 미세 탄화 규소는 *분산강화고온소재(disperselyreinforced high-temperature materials), 다른 물질과 소재 연구를 위한 가스 색층 분석소재의 생산, 마이크로시스템의 물리, 화학 공정 모니터링, 연속 실시간 모드의 가스 매체에 대한 분석적 제어, 그리고 광범위한 온도와 농도 범위에서의 사용 가능성을 한층 더높혔다. 본 연구 방식의 개발로 사전 정의 형태와 기하(일차원 나노결정 포함)를 지닌 탄화 규소 나노입자를 합성할 수 있고, 많은 다공 소재에서 다결정 탄화규소 막의 석출과그것의 침전을 일으킨다. 탄화 규소 소재는 항공우주 산업의 열장벽 세라믹 복합소재를 생산하는데 사용되었고, 처음으로 반도체와 열촉매 센서의 감지소재의 요소로 테스트되었다. β-SiC(탄화규소)의 단결정(직경 150-300mm)을 얻었다(그림 a,b 참조). 길이/직경 비율은 ~106이고, 이 때문에 얻어진 구조를 "연속적"이라 부를 수 있다.